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	1401型滑閥真空泵（已淘汰）
	MH型滑閥真空泵（基本淘汰）
	H型滑閥真空泵（單缸）
	2H型滑閥真空泵（雙缸）

	直聯旋片真空泵
	2X型旋片真空泵
	XD型單級旋片真空泵

	ZJH型羅茨真空泵（專利產品）
	ZJ型羅茨真空泵（老型）
	ZJHQ型直排大氣羅茨真空泵

	HF型爪式真空泵
	LG型螺桿真空泵

	2BA、2BV型直聯水環真空泵
	SK、2SK、2SK-P型水環式真空泵
	2BE型大型水環真空泵
	RPP型水噴射真空泵

	WLW型立式無油真空泵
	W、WY型往復式真空泵

	JZJHS型羅茨水環真空機組
	JZJHX型羅茨旋片真空機組
	JZJHBA型羅茨水環真空機組
	JZJHP型羅茨水噴射真空機組
	JZJHWLW型羅茨立式無油真空機組
	JZJHH/2H型羅茨滑閥真空機組
	HF型干式無油分子泵機組
	JK型高真空羅茨-油擴散泵機組

	3L-WD型直聯三葉羅茨風機
	3L-WD型皮帶三葉羅茨風機

	VD/VOD真空爐鋼水精煉真空成套設備
	ZHH真空吸引站

目前國內單晶爐、多晶爐配用真空泵以滑閥真空泵2H-120、滑閥真空泵2H-150、滑閥真空泵2H-70居多。其中清理單晶爐仍然使用水環真空泵2SK-6A型號。多晶硅爐配套真空泵可根據用戶情況定制各類真空機組(羅茨滑閥真空機組型號：JZJH2H-150-70)。
單晶爐滑閥真空泵

2H-70 主要性能參數：
極限真空：6X10-2Pa
抽氣速率：70L/S 　　
配用功率：7.5KW 　　
進氣口徑80mm 　　
排氣口徑80mm
　　
水環真空泵2SK-6A主要性能參數：　　
極限真空：3300Pa 　　
抽氣速率：6m3/min 　　
進排氣口徑：50mm
功率：11KW

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